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ZQJ--3000ZQJ--3000型氦质谱检漏仪
ZQJ--3000
ZQJ--3000型氦质谱检漏仪
INFICON新款氦质谱检漏仪,可以替代inficon的UL1000型氦气检漏仪
 
  • 产品概述
  • 详细参数
  • 资料下载


  ZQL-3000  技术特点


简单高效的真空系统:

 


        –高抽速的新型分子泵

        –3 进气口


粗检模式(Gross)


细检模式(Fine)


超细模式(Ultra)


对氦的高压缩比


对环境气体污染的不敏感性(不在乎喷氦时的氦气本底环境污染)


ZQJ-3000  技术参数




更小可检漏率(按照AVS2.1EN1518):                         4He <5x10-12 毫巴×/


                                                                                           3He:    <5x10-10 毫巴×/


                                                                                            H2<5x10-8 毫巴×/


更小可检漏率(吸枪模式):                                                < 5x10-8 毫巴×/


入口压强:             18毫巴 


粗抽泵        


干式泵 (Pfeiffer Vacuum MVP035)                      2 / 3小时


油旋片泵 (Pfeiffer Vacuum UNO006A)                  4.8 3/小时(@50Hz)


分子泵 (Pfeiffer Vacuum SplitFlow 80):                        60/


启动时间:                                         < 3分钟 


离子源:                                                                          两根镀钇的铱丝  


对氦抽速:                                   > 2.5/(进气口压强<0.5毫巴)


反应速度(信号值的63%):                                       <0.3(真空模式)


                                                                                           <1秒 (3米吸枪模式)


重量:                                                                              44公斤


尺寸(xx)                                              550 x 460 x 304 毫米




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